龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本发明提供一种集成电路量测结果图像化分析方法及系统，能够收集集成电路测试站点及其量测结果，并将收集的数据进行包括货批级视图在内的多种视图的图形化显示，使得集成电路量测结果显示更直观，由此，可以使得用户能够结合各种视图中的基本信息甚至一些统计信息，来追溯制程和机台问题，提高了良率分析效率。特别是本发明的方案能够在货批级视图中显示制程和机台信息以及良率损失特征，使得用户可以基于货批级视图中显示的良率损失特征迅速关联制程和机台问题。
主权项：1.一种集成电路量测结果图像化分析方法，其特征在于，包括：收集多个集成电路测试站点的量测结果；以及将各个所述集成电路测试站点的量测结果图形化成多种视图，所述视图包括货批级视图，且在任一所述货批的所述货批级视图中将所述货批的所有晶圆按照所述量测结果的不同良率损失特征来分类，并进一步显示所述货批的每片晶圆的机台和或制程信息，以将各个所述良率损失特征与相应的所述机台和或制程相关联。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 集成电路量测结果图像化分析方法及系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号