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摘要：本实用新型公开了一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块为激光器的前端定位挡板，放置在装置整体的前侧，前定位块的侧边放置有前侧边定位块，前侧边定位块的后部放置有后侧边定位块，前定位块、前侧边定位块、后侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块与前侧边定位块的中部前方依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记。本实用新型采用三个主支撑块组合而成的激光器光轴离线校准装置，将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，可直观地观察光线的变化，校准操作简便且耗时短，不占用生产设备的时间。
主权项：1.一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，包括前定位块1、前侧边定位块2、后侧边定位块3、承载平面台4、近点小孔标记5和远点小孔标记6，前定位块1为激光器的前端定位挡板，放置在装置整体的前侧，前定位块1的侧边放置有前侧边定位块2，前侧边定位块2的后部放置有后侧边定位块3，前定位块1、前侧边定位块2、后侧边定位块3的表面均设置有独立的承载平面台4，前定位块1、前侧边定位块2、后侧边定位块3的底部设有连接面7，前定位块1与前侧边定位块2的中部前方依次放置有近点小孔标记5、远点小孔标记6；所述的前定位块1与前侧边定位块2之间的距离a为20mm，前定位块1与后侧边定位块3之间的距离b为210mm，前侧边定位块2与后侧边定位块3之间的距离c为230mm，前定位块1与近点小孔标记5之间的距离d为300mm，近点小孔标记5与远点小孔标记6之间的距离e不小于4000mm。
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百度查询： 上海矽锐电子科技有限公司 一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置
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