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摘要：本发明公开了一种制备减摩耐磨TiAlNTiAlCN多层复合薄膜的方法，包括以下步骤：将预处理后的基体烘干，放置于磁控溅射与过滤阴极电弧复合的多激发源等离子体镀膜装置的旋转样品台上；将真空室抽真空并通入氩气，采用离子源对基体表面进行溅射清洗；分别以高纯金属硅和铝作为射频和直流脉冲磁控溅射的溅射靶材，高纯钛和石墨片作为直流磁过滤和脉冲阴极电弧的蒸发靶材，通过调节金属靶溅射功率、石墨靶脉冲频率和脉冲数制备TiAlNTiAlCN多层复合薄膜。本发明制备的TiAlNTiAlCN多层复合薄膜元素含量可调、调制周期易控，具有高硬度、高结合强度、低摩擦系数和良好耐磨性能。
主权项：1.一种制备减摩耐磨TiAlNTiAlCN多层复合薄膜的方法，其特征在于包括以下步骤：将预处理后的基体烘干，放置于磁控溅射与过滤阴极电弧复合的多激发源等离子体镀膜装置的旋转样品台上；将真空室抽真空并通入氩气，采用离子源对基体表面进行溅射清洗；分别以高纯硅和铝片作为射频和直流脉冲磁控溅射的溅射靶材，高纯钛和石墨片作为直流磁过滤和脉冲阴极电弧的蒸发靶材，通入氩气、氮气，根据化学成键能力及碳基非晶相形成规律设计薄膜结构，通过调节金属靶溅射功率、石墨靶脉冲频率和脉冲数，从而在基体表面制备减摩耐磨的TiAlNTiAlCN多层复合薄膜。
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百度查询： 太原理工大学 一种制备减摩耐磨TiAlN/TiAlCN多层复合薄膜的方法
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