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申请/专利权人：上海轩田工业设备有限公司
摘要：本申请公开了工艺腔体Recipe管理系统及半导体设备控制方法，半导体设备控制方法包括：将每个Recipe的Chamber信息保存在工艺腔体Recipe管理系统中；用户在工艺腔体Recipe管理系统中对设备模组、设备类型、机台Recipe以及Chamber进行编辑；EAP获取MES中的Recipe并与工艺腔体Recipe管理系统中编辑过的Recipe取交集；EAP从机台中获取Recipe列表，并判断取完交集后的Recipe是否存在于Recipe列表中，若存在，允许机台生产，否则机台停止生产。本申请安全且方便地实现了对RecipeChamber的管控，提升了产线的管理效率。
主权项：1.工艺腔体Recipe管理系统，其特征在于，包括：设备模组管理模块，用于对Recipe所需的模组进行编辑，包括新增模组、修改模组和删除模组；设备类型管理模块，用于自定义编辑机台的设备类型，每个设备类型与其所属的模组相关联；设备信息管理模块，用于自定义编辑机台信息，包括机台对应的设备类型，机台所包括的Chamber；机台主界面信息管理模块，用于针对于每一个机台的每一个Recipe进行Chamber编辑，选择可用的Chamber。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海轩田工业设备有限公司 工艺腔体Recipe管理系统及半导体设备控制方法
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