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申请/专利权人：台州学院;台州学院温岭研究院
摘要：本发明公开了一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2‑Ti复合涂层的装置和方法，该装置包括真空腔体、样品转架、主脉冲电源、从脉冲电源、WS2靶材、Ti靶材和时序控制器，样品转架设置于真空腔体内，WS2靶材和Ti靶材分别固定于真空腔体，WS2靶材和Ti靶材呈八字分布，WS2靶材和Ti靶材分别正对样品转架；主脉冲电源与Ti靶材电连接，从脉冲电源与WS2靶材电连接，时序控制器分别与主脉冲电源和从脉冲电源电连接，时序控制器控制主脉冲电源和从脉冲电源的脉冲时序。该装置可控制两套HiPIMS脉冲电源的脉冲时序，可以有效避免脉冲放电重叠，实现双靶稳定工作，利用该装置制备WS2‑Ti复合涂层，可以改善其耐摩擦磨损性能。
主权项：1.一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2-Ti复合涂层的装置，包括真空腔体和样品转架，样品转架设置于真空腔体内，其特征在于：还包括主脉冲电源、从脉冲电源、WS2靶材、Ti靶材和时序控制器，WS2靶材和Ti靶材分别固定于真空腔体中，WS2靶材和Ti靶材呈八字分布，WS2靶材和Ti靶材分别正对样品转架；主脉冲电源与Ti靶材电连接，从脉冲电源与WS2靶材电连接，时序控制器分别与主脉冲电源和从脉冲电源电连接，时序控制器控制主脉冲电源和从脉冲电源的脉冲时序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台州学院 台州学院温岭研究院 一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2-Ti复合涂层的装置和方法
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