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申请/专利权人：西实显示高新材料(沈阳)有限公司
申请日：2022-09-29
公开（公告）日：2022-12-30
公开（公告）号：CN115547804A
专利技术分类：.充气放电管（放电加热的入H05B）[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种大尺寸ICP供气模组与ICP设备。大尺寸ICP供气模组包括供气模块与区域供气管。供气模块用于环形设置于线圈周侧，供气模块包括多个供气分块，供气分块具有供气通道，供气通道具有出气口，多个供气分块首尾可拆卸连接；供气模块包括多个供气区域，供气区域内设置有至少一个供气分块。区域供气管的数量与供气区域的数量相同，且一一对应，区域供气管用于向对应供气区域内的所有供气分块供气。将大尺寸供气模块转化为小尺寸的供气分块，可以降低制作成本且提高供气分块的通用性。通过调节不同的区域供气管实现对供气气体的调控，从而即时调控供气气体的均匀性，从而提高膜层质量。
专利权项：1.一种大尺寸ICP供气模组，其特征在于，包括：供气模块，设置于线圈周侧，所述供气模块包括多个供气分块，所述供气分块具有供气通道，所述供气通道具有出气口，多个所述供气分块首尾可拆卸连接；所述供气模块包括多个供气区域，所述供气区域内设置有至少一个所述供气分块；区域供气管，所述区域供气管的数量与所述供气区域的数量相同，且一一对应，所述区域供气管用于向对应的所述供气区域内的所有的所述供气分块供气。
百度查询： 西实显示高新材料(沈阳)有限公司 大尺寸ICP供气模组与ICP设备
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