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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于磁记录靶材领域，具体公开了一种CoFeB合金靶材及其制备方法。本发明所述CoFeB合金靶材，包括如下质量百分含量的元素组分：钴元素15‑35％，铁元素50‑60％，硼元素15‑30％。本发明在制备CoFeB合金靶材时，采用氮化硼涂层和钼纸作为间隔层，能有效降低CoFeB合金靶材中的C含量，并通过调节加压烧结的条件进而调控靶材内部的晶粒尺寸、靶材致密度以及透磁率，使最终制得的CoFeB合金靶材内部晶粒尺寸均匀，有较高的透磁率，C和O含量极低，组分准确、均匀。
主权项：1.一种CoFeB合金靶材，其特征在于，包括如下质量百分含量的元素组分：钴元素15-35％，铁元素50-60％，硼元素15-30％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种CoFeB合金靶材及其制备方法
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