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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所

申请日：2021-06-30

公开（公告）日：2023-07-25

公开（公告）号：CN113644893B

专利技术分类：...单晶滤波器[2006.01]

专利摘要：本发明涉及滤波器技术领域，提供一种体声波滤波器及滤波器组件，包括串联连接在输入端子和输出端子之间的第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器、第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器；多个并联的薄膜体声波谐振器的一端并联连接在第一薄膜体声波谐振器和第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器至第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器之间的节点上，多个并联的薄膜体声波谐振器的另一端分别连接接地端子。上述滤波器可允许特定频率的信号通过。

专利权项：1.一种体声波滤波器，其特征在于，包括输入端子、输出端子、接地端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；所述多个串联的薄膜体声波谐振器包括串联连接在所述输入端子和输出端子之间的第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器、第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器；所述多个并联的薄膜体声波谐振器包括第八薄膜体声波谐振器、第九薄膜体声波谐振器、第十薄膜体声波谐振器和第十一薄膜体声波谐振器，所述第八薄膜体声波谐振器的一端连接在所述第一薄膜体声波谐振器和第二薄膜体声波谐振器之间；所述第九薄膜体声波谐振器和第十薄膜体声波谐振器的一端分别依次连接在所述第三薄膜体声波谐振器至第五薄膜体声波谐振器之间的节点上，所述第九薄膜体声波谐振器的另一端与所述第十薄膜体声波谐振器的另一端连接后，与所述接地端子连接；所述第十一薄膜体声波谐振器的一端连接在所述第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器之间的节点上；所述第八薄膜体声波谐振器和所述第十一薄膜体声波谐振器的另一端分别与所述接地端子连接；所述第一薄膜体声波谐振器、所述第二薄膜体声波谐振器、所述第五薄膜体声波谐振器和所述第七薄膜体声波谐振器的中心到输入端子和输出端子所在第一直线的距离小于阈值；所述第一薄膜体声波谐振器的中心与所述第八薄膜体声波谐振器的中心位于第一竖线上，所述第四薄膜体声波谐振器的中心与所述第十薄膜体声波谐振器的中心位于第二竖线上，所述第七薄膜体声波谐振器的中心与所述第十一薄膜体声波谐振器的中心位于第三竖线上，且所述第一竖线、所述第二竖线和所述第三竖线分别相互平行；所述薄膜体声波谐振器滤波器的版图包括第一版图区至第十六版图区；第一版图区、第三版图区和第五版图区为接地端子版图区，第二版图区为输入端子版图区，第四版图区为输出端子版图区，所述第三版图区位于所述滤波器的版图的下部，所述第一版图区和第五版图区、所述第二版图区和第四版图区分别设置在所述滤波器的版图的两边；第六版图区至第十二版图区分别为所述第一薄膜体声波谐振器至所述第七薄膜体声波谐振器的版图区；第八版图区、第九版图区和第十一版图区位于所述第六版图区、第七版图区、第十版图区和第十二版图区的下部；第十三版图区至第十六版图区分别为所述第八薄膜体声波谐振器至所述第十一薄膜体声波谐振器的版图区；所述第十三版图区位于所述第六版图区的上部，所述第十三版图区的一端分别与所述第六版图区和第七版图区连接，另一端与所述第一版图区连接；第十四版图区位于所述第八版图区的下部，所述第十四版图区的一端分别与所述第八版图区和第九版图区连接，所述第十四版图区的另一端与第十五版图区的另一端连接后，与所述第三版图区连接；所述第十五版图区位于所述第九版图区的下部，所述第十五版图区的一端分别与所述第九版图区和第十版图区连接；所述第十六版图区位于所述第十二版图区的上部，所述第十六版图区的一端分别与所述第十一版图区和第十二版图区连接，且另一端与所述第五版图区连接。

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