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摘要：本发明涉及一种高韧性TiN‑TiAlNTiAlCN纳米复合涂层及其制备工艺。其中包括采用物理气相沉积技术在基体表面制备TiN‑TiAlNTiAlCN纳米复合多层薄膜，所述一种高韧性TiN‑TiAlNTiAlCN纳米复合多层薄膜的流程包括：基体表面预处理、沉积TiN打底层、沉积具有周期性调制结构的TiAlNTiAlCN纳米复合多层。所述的TiAlNTiAlCN纳米复合多层中TiAlCN层为TiAlCN和Ti,AlC,Na‑C复合结构。与现有薄膜相比，本发明制备的高韧性TiN‑TiAlNTiAlCN纳米复合多层薄膜设计合理、实用性强、制备工艺简便。将其应用于工模具的表面，不仅能够增强工模具表层膜的韧性，而且此表层膜还具有高硬度、低摩擦系数及良好的耐磨性，大幅的改善了其服役寿命。
主权项：1.一种高韧性TiN-TiAlNTiAlCN纳米复合涂层，其特征在于，该涂层包括依次沉积于基体1上的TiN打底层2和TiAlNTiAlCN纳米复合多层3。
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百度查询： 上海应用技术大学 一种高韧性TiN-TiAlN/TiAlCN纳米复合涂层及其制备工艺
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