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申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本申请属于靶材制备领域，公开了一种CoFeB合金靶材的制备方法，包括以下步骤，按CoFeB合金靶材中铁钴硼的配比将硼颗粒投入熔炼坩埚，随后将钴片、铁片投入熔炼坩埚内并覆盖在硼颗粒表面，盖上设备炉盖，进行抽真空、升温加热及雾化操作，待设备冷却后将收集的合金粉末过筛，得到粒径＜150um的CoFeB合金原料；将制得的CoFeB合金原料放入包套内进行热等静压烧结，将烧结后的CoFeB合金材料机加工，得到CoFeB合金靶材；通过上述操作，使得熔炼过程中硼的流失情况得到抑制，进而使得生成的CoFeB合金靶材中各组分的含量得到精准的控制。
主权项：1.一种CoFeB合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：按CoFeB合金靶材中铁钴硼的配比将硼颗粒投入熔炼坩埚，随后将钴片、铁片投入熔炼坩埚内并覆盖在硼颗粒表面，将装有硼源、铁源、钴源的熔炼坩埚升温加热、雾化、过筛，得到粒径＜150um的CoFeB合金原料；步骤2：将步骤1制得的CoFeB合金原料放入包套内进行热等静压烧结，将烧结后的CoFeB合金材料机加工，得到CoFeB合金靶材；所述硼颗粒的粒径为6-12mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种CoFeB合金靶材及其制备方法
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