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一种用于微米级薄膜测试的数字化正电子湮没多普勒展宽谱仪及其测试方法 

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申请/专利权人:中国科学技术大学

摘要:本发明涉及用于正电子湮没多普勒展宽测量的多普勒谱仪的技术领域,具体为一种用于微米级薄膜测试的数字化正电子湮没多普勒展宽谱仪及其测试方法。包括高纯锗探测器、放大器、反符合模块和数据采集处理模块,高纯锗探测器用于接收正负电子湮没产生的湮没光子并沉积能量;放大器对负指数核脉冲信号进行放大和高斯成型处理,得到高斯脉冲信号;高速数字示波器的一路采集反符合脉冲信号,另一路采集放大器的高斯脉冲信号;计算机得到高速数字示波器的双通道信号进行反符合逻辑判断,得到多普勒展宽谱并计算其S‑W参数,获得薄膜样品内缺陷信息。本发明采用反符合模块对湮没光子位置进行判断,实现了用于微米级薄膜测试的数字化反符合多普勒谱仪。

主权项:1.一种用于微米级薄膜测试的数字化正电子湮没多普勒展宽谱仪,其特征在于:包括高纯锗探测器1、放大器2、反符合模块和数据采集处理模块,所述高纯锗探测器1用于接收正负电子湮没产生的湮没光子并沉积能量,输出的负指数核信号脉冲,脉冲高度与沉积能量相关;所述放大器2对负指数核脉冲信号进行放大和高斯成型处理,得到高斯脉冲信号;所述反符合模块包括第一塑料闪烁体31、第二塑料闪烁体32、薄膜样品33和光电倍增管34,光电倍增管34用于输出反符合脉冲信号;第一塑料闪烁体31和第二塑料闪烁体32从两侧夹持住微米级的薄膜样品33,且薄膜样品33的中间设有正电子放射源,第一塑料闪烁体31和光电倍增管34的光阴极窗耦合,第二塑料闪烁体32的远离薄膜样品33的侧面上均镀有反射层;所述数据采集处理模块包括高速数字示波器41和计算机42,高速数字示波器41的一路通道采集反符合脉冲信号,另一路通道采集放大器2的高斯脉冲信号;计算机42得到高速数字示波器41的双通道信号进行反符合逻辑判断,并对保留数据处理,得到相应的多普勒展宽谱并计算其S-W参数,获得薄膜样品33内缺陷信息。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学技术大学 一种用于微米级薄膜测试的数字化正电子湮没多普勒展宽谱仪及其测试方法

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