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申请/专利权人：晶微电子材料(北京)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体晶圆电镀TGV阴极挂具，包括PVC主板、盖板、导电片、导线、导电铜钩和绝缘盖，PVC主板上设置有晶圆放置腔，晶圆放置于晶圆放置腔内；晶圆放置腔外围设置用于放置导电片的凹槽；凹槽外围设置有用于放置盖板的定位槽；盖板设置于定位槽内与PVC主板可拆卸连接；PVC主板表面设置有线槽；导线放置于线槽内；PVC主板上设置有用于连通线槽和凹槽的穿孔；导线的一端穿过穿孔与导电片可拆卸连接；绝缘盖与PVC主板可拆卸连接，将导线固定与线槽内；PVC主板上设置有导电铜钩；导线的一端与导电铜钩可拆卸连接，另一端与导电片可拆卸连接。本实用新型对挂具的导线进行防护，且便于更换损坏的导线。
主权项：1.半导体晶圆电镀TGV阴极挂具，包括PVC主板（1）、盖板（2）、导电片（3）、导线（4）、导电铜钩（5）和绝缘盖（6），其特征在于：所述的PVC主板（1）上设置有晶圆放置腔，晶圆放置于晶圆放置腔内；晶圆放置腔内设置有贯穿PVC主板（1）的圆孔；所述的晶圆放置腔外围设置用于放置导电片（3）的凹槽（8）；所述的凹槽（8）外围设置有用于放置盖板（2）的定位槽（10）；所述的盖板（2）设置于定位槽内与所述的PVC主板（1）可拆卸连接；所述的PVC主板（1）表面设置有线槽（7）；所述的导线（4）放置于线槽（7）内；所述的PVC主板（1）上设置有用于连通线槽（7）和凹槽（8）的穿孔（9）；导线（4）的一端穿过穿孔（9）与导电片（3）可拆卸连接；所述的绝缘盖（6）与PVC主板（1）可拆卸连接，将导线（4）固定与线槽（7）内；所述PVC主板（1）上设置有导电铜钩（5）；所述导线（4）的一端与导电铜钩（5）可拆卸连接，另一端与导电片（3）可拆卸连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 晶微电子材料(北京)有限公司 半导体晶圆电镀TGV阴极挂具
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