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申请/专利权人：河北北芯半导体科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种用于PIND检测系统的水溶胶自动涂覆装置，属于电子元器件可靠性试验技术领域，包括支撑组件、竖向滑动组件和涂覆组件，支撑组件上部具有在水平面呈圆周向旋转的自由度，上部沿竖直方向设置有第一滑道；竖向滑动组件一端滑动连接于第一滑道且具有沿竖向移动的自由度，竖向滑动组件底端沿水平方向设置有第二滑道；涂覆组件上端滑动连接于第二滑道且具有沿水平方向移动的自由度，涂覆组件借助竖向滑动组件调节涂覆厚度、通过水平移动用于自动涂覆水溶胶至PIND传感器上。本实用新型具有能是水溶胶自动涂覆于传感器上，涂覆的厚度均匀一致，提升自动化涂覆程度，不受人工主观因素控制的技术效果。
主权项：1.一种用于PIND检测系统的水溶胶自动涂覆装置，其特征在于，包括：支撑组件，上部具有在水平面呈圆周向旋转的自由度，上部沿竖直方向设置有第一滑道；竖向滑动组件，一端滑动连接于所述第一滑道且具有沿竖向移动的自由度，所述竖向滑动组件底端沿水平方向设置有第二滑道；涂覆组件，上端滑动连接于所述第二滑道且具有沿水平方向移动的自由度，所述涂覆组件借助所述竖向滑动组件调节涂覆厚度、通过水平移动用于自动涂覆水溶胶至PIND传感器上。
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权利要求：
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