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摘要：本申请提供了一种MBE级铟制备系统和方法，该系统包括蒸馏子系统和区熔子系统。蒸馏舟放置于第一盛放管内部；第一盛放管放置于第二盛放管内部，并通过第二盛放管的卡持结构进行固定，且第一盛放管的开口伸出第二盛放管的开口；产品收集管的第一开口与第一盛放管的开口连接，产品收集管的第二开口与尾料收集管的第一开口连接，尾料收集管的第二开口朝向蒸馏管的抽真空端；真空泵与蒸馏管的抽真空端连接；第一加热器、第二加热器和第三加热器依次安装在蒸馏管外部；区熔子系统用于对蒸馏子系统制造的产物进行区熔提纯。该系统对铟原料的损耗率低，回收率高，多级加热结构可独立加热与控温，实现分阶段蒸馏，保证生产效率，且安全环保。
主权项：1.一种MBE级铟的制备系统，其特征在于，包括蒸馏子系统和区熔子系统，所述蒸馏子系统包括蒸馏管、第一盛放管、第二盛放管、蒸馏舟、产品收集管、尾料收集管、第一加热器、第二加热器、第三加热器和真空泵；所述蒸馏舟放置于所述第一盛放管内部；所述第一盛放管放置于所述第二盛放管内部，并通过所述第二盛放管的卡持结构进行固定，且所述第一盛放管的开口伸出所述第二盛放管的开口；所述产品收集管和所述尾料收集管两端开口，所述产品收集管的第一开口与所述第一盛放管的开口连接，所述产品收集管的第二开口与所述尾料收集管的第一开口连接，所述尾料收集管的第二开口朝向所述蒸馏管的抽真空端；所述真空泵与所述蒸馏管的抽真空端连接；所述第一加热器、所述第二加热器和所述第三加热器依次安装在所述蒸馏管外部，所述蒸馏舟和所述第一盛放管与所述产品收集管的交界处位于所述第一加热器的覆盖范围内，所述产品收集管与所述尾料收集管的交界处位于所述第二加热器的覆盖范围内，所述尾料收集管远离其第二开口的部分管体位于所述第三加热器的覆盖范围内；所述区熔子系统用于对所述蒸馏子系统制造的产物进行区熔提纯。
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