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申请/专利权人:AMS有限公司;格拉茨工业大学
摘要:粒子传感器装置包括:衬底1、光电检测器3、在衬底1上或衬底上方的电介质4、电磁辐射源5和在衬底1中的衬底通孔6。衬底通孔暴露于环境,特别是环境空气。在电介质中或电介质上方设置有波导7,使得由电磁辐射源发射的电磁辐射耦合到波导的一部分7.1。波导的另外的部分7.2与光电检测器相对,使得波导的所述部分位于衬底通孔的不同侧,并且波导横穿衬底通孔。
主权项:1.一种粒子传感器装置,包括:衬底1,光电检测器3,所述衬底1上或衬底上方的电介质4,电磁辐射源5,以及所述衬底1中的衬底通孔6,其特征在于,所述衬底通孔6暴露于环境,在所述电介质4中或电介质上方设置有波导7,来自所述电磁辐射源5的电磁辐射耦合到所述波导7的一部分7.1,所述波导7的另外的部分7.2设置在所述光电检测器3处,并且所述波导7在所述部分7.1与所述另外的部分7.2之间的位置处横穿衬底通孔6,所述波导7被配置成使得一个或更多个粒子能够在所述衬底通孔6内被吸附在波导7上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: AMS有限公司 格拉茨工业大学 使用波导的倏逝波的粒子密度传感器
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