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申请/专利权人：宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司

摘要：本发明提供了一种高效挽救断线损失的复压切割硅片的方法，通过低速顺向抬线结合分段复压弹跳的方式，将加工硅块粘结在晶拖底面，将硅块原本平整的底面加工成斜面，通过喷液管迅速降温，能够迅速进行复压入网，并在复压入网过程中，使得硅块由线接触线网变为点接触线网，通过弹压线网，使得线网进入硅块未正常入网的部分。本发明产生了提高断线复压的成功率、效率以及产品的品质的效果。

主权项：1.一种高效挽救断线损失的复压切割硅片的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、安装，将加工硅块（1）粘结在晶拖（6）底面；S2、判定，在硅块（1）切割过程中意外发生断线时，打开切割室门，查看断线位置，若损失较小，且有线挽救，则直接接线切割，若损失较大，或无法挽救，则采用负压切割硅片法；S3、理线，出现断线异常，判定复压切割挽救时，清理断头和残线；S4、标记，断头和缠绕残线清理完成后，保持切割液打开，进行提棒，并记录切割深度和收放线线量；S5、分离，在完成S4后，升棒，将未切割完的硅块（1）完全提离线网；S6、降温，根据硅块断线切割深度，调整喷液管输出位置，打开切割液循环喷淋30-50min；S7、布线，完成S6后，关闭喷液管（3），将线网重新布好，出现严重硅块断线损伤的部位可以间隔3-6mm布单线，根据剩余深度测算用线量，完成复压线网的跑线量；S8、入网，根据切割入刀处在右侧则恢复喷液管（3）的左侧喷嘴，右侧喷嘴屏蔽，若切割入刀侧在左侧则恢复右侧喷嘴，左侧喷嘴屏蔽，并复压入网；S9、调网，边走线边下压硅块（1），使得硅块（1）下压位置为零点后再下压1-2mm，让硅块自动入网，过程中会有局部或间隔性未正常入网迹象，此时停止硅块（1）下压，仍以0.06-0.1ms运行线网，在未正常入网处，弹跳线网惯性入刀，从而使得线网以点的模式小程距反复入网；S10、复压，重复S9，直至完成全部入网，再下压硅块（1）5-10mm，再次确认复压全部硅块（1）正常入网，若有异常则再次提棒，重复S9，确认全部入网后，按照S8参数边走线边下压硅块（1），直至小于0.5-1mm达到断线切割深度；S11、切割，在复压入网完成后，再将喷液管（3）的右侧喷嘴调整就位，做好切割前项目检查，在断线位置修改2-3mm短周期工艺，最后启动正常切割，完成复压入网挽救。

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