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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供了一种防止圆环靶材异常放电的处理方法，所述处理方法包括：圆环靶材由内向外依次划分为内环和外环，对所述内环和所述外环依次进行滚花处理后，对所述内环和所述外环的交界处、以及所述外环的表面依次进行粗抛光处理和精抛光处理；经上述处理的圆环靶材的粗糙度沿中心向四周呈同心圆式扩散的方向逐渐减弱。在本发明中，通过对圆环靶材的具体处理，使得Redepo附着区域为靶材的圆环形区域内侧，且设计不同的粗糙度，在保证圆环靶材原有功能不变的条件下可以防止圆环靶材产生的Arcing现象，方法简单，适合推广。
主权项：1.一种防止圆环靶材异常放电的处理方法，其特征在于，所述处理方法包括：圆环靶材由内向外依次划分为内环和外环，对所述内环和所述外环依次进行滚花处理后，对所述内环和所述外环的交界处、以及所述外环的表面依次进行粗抛光处理和精抛光处理；经上述处理的圆环靶材的粗糙度沿中心向四周呈同心圆式扩散的方向逐渐减弱。
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权利要求：
百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种防止圆环靶材异常放电的处理方法
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