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申请/专利权人：华为技术有限公司
申请日：2021-06-25
公开（公告）日：2024-02-06
公开（公告）号：CN117529583A
专利技术分类：..气体供给或排出用的装置；反应气流的变换[2006.01]
专利摘要：本申请实施例提供一种反应装置、生长装置及生长设备，通过设置环形反应器，环形反应器的内部具有至少一个环形腔室，且环形反应器上设有进气口和出气口，进气口和出气口均与至少一个环形腔室连通，能够促使通过进气口进入至少一个环形腔室的反应气体能够与至少一个环形腔室内的金属源充分接触，从而能够有效提高反应气体与金属源的反应转换效率，在一定程度上提高晶体的生长速率。
专利权项：一种反应装置，其特征在于，至少包括：环形反应器；所述环形反应器的内部具有至少一个环形腔室，且所述环形反应器上设有进气口和出气口，所述进气口和所述出气口均与所述至少一个环形腔室连通。
百度查询： 华为技术有限公司 反应装置、生长装置及生长设备
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