买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

摘要：本发明提出了一种集成MBE装置的激光加工系统，包括MBE生长室、样品台、光路机构、隔热机构和冷却机构，MBE生长室的一侧设有开口；样品台固定在MBE生长室的内部，且与开口的位置相对应，样品台用于放置衬底样品材料；光路机构相对设置于MBE生长室的一侧，且光路机构上设有出光端，出光端的一侧贯穿MBE生长室的开口并伸入其内部，并与样品台呈相对间隔设置，光路机构与MBE生长室的开口处密封连接，本系统将光路机构集成于MBE装置内，将光路机构集成到MBE装置内，采用激光直写的方式近距离对样品加工，提高了激光聚焦能力，有效保证了激光加工的精度和质量。

主权项：1.一种集成MBE装置的激光加工系统，包括MBE生长室1和样品台2，其中，MBE生长室1的一侧设有开口；样品台2固定在MBE生长室1的内部，且与开口的位置相对应，所述样品台2用于放置衬底样品材料；其特征在于，还包括光路机构3、隔热机构4和冷却机构5，其中，所述光路机构3相对设置于MBE生长室1的一侧，且光路机构3上设有出光端，出光端的一侧贯穿MBE生长室1的开口并伸入其内部，并与样品台2呈相对间隔设置，所述光路机构3与MBE生长室1的开口处密封连接；所述光路机构3包括外光路组件31、内光路组件32和物镜33，其中，外光路组件31的一侧端部贯穿MBE生长室1的开口并伸入其内部，外光路组件31用于连接外界激光器；内光路组件32设置于外光路组件31伸入MBE生长室1内的一端，且与外光路组件31同心轴设置；物镜33设置于内光路组件32远离外光路组件31的一侧端部，所述物镜33作为光路机构3的出光端，外界激光器输出激光经外光路组件31反射到内光路组件32内，并经过物镜33对衬底样品材料加工；所述隔热机构4设置在光路机构3的出光端一侧，所述隔热机构4用于减小到达光路机构3镜片的热辐射；所述隔热机构4包括防护罩体41和隔热透光件42，其中，防护罩体41呈圆柱状且内部中空，防护罩体41设置外光路组件31靠近样品台2的一侧，且位于内光路组件32与物镜33的外侧，所述防护罩体41靠近样品台2的一侧开设有透光孔；隔热透光件42设置在防护罩体41内，且位于物镜33远离内光路组件32的一侧，并与物镜33的轴心处于同心圆设置；所述防护罩体41材质为合金钢，表面为光滑面，并在其外表面设有金膜，用于热量的快速传导；所述隔热透光件42的数量为两个，至少两个隔热透光件42沿防护罩体41的轴向方向间隔设置，且材质为石英玻璃。所述冷却机构5设置于光路机构3的外侧，所述冷却机构5具有一个冷却通道，冷却通道内流动有换热介质，用于将光路机构3积累的热量快速传递到外界。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 武汉大学 一种集成MBE装置的激光加工系统