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摘要：提供一种MBE衬底载具，包括托板，托板的外周为圆柱形，托板从径向外侧向径向内侧形成圆柱形的第一收容凹部、圆柱形的第二收容凹部和圆柱形的第三通孔。第一收容凹部的直径大于第二收容凹部的直径，第二收容凹部的直径大于第三通孔的直径，第一收容凹部、第二收容凹部和第三通孔同心。第二收容凹部用于收容并支撑衬底。MBE衬底载具还包括盖板，盖板为无孔单件板，盖板收容于第一收容凹部。本公开的MBE衬底载具的盖板为无孔单件板，使盖板与衬底之间形成密闭的空间，减少MBE过程中盖板与衬底之间热量的流动和扩散，同时降低衬底边缘附近与衬底中心的热分布差异，即降低衬底上的温度梯度，进而避免衬底的热应力线的产生。
主权项：1.一种MBE衬底载具，包括托板1，托板1的外周为圆柱形，托板1从径向外侧向径向内侧形成圆柱形的第一收容凹部11、圆柱形的第二收容凹部12和圆柱形的第三通孔13，第一收容凹部11的直径大于第二收容凹部12的直径，第二收容凹部12的直径大于第三通孔13的直径，第一收容凹部11、第二收容凹部12和第三通孔13同心，第二收容凹部12用于收容并支撑衬底200，其特征在于，MBE衬底载具100还包括盖板2，盖板2为无孔单件板，盖板2收容于第一收容凹部11。
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百度查询： 安徽光智科技有限公司 MBE衬底载具
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