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一种仿生超敏宽裕柔性应变传感器及其制备方法 

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申请/专利权人:吉林大学

摘要:本发明公开了一种仿生超敏宽裕柔性应变传感器及其制备方法,仿生超敏宽裕柔性应变传感器包括:柔性基底,所述柔性基底上设有多组不同缝宽的缝单元,沿所述缝单元的排布方向,多个所述缝单元的缝宽由所述柔性基底两侧向中部逐渐增大;传感结构,设于所述柔性基底及所述缝单元的表面;封装层,盖设于所述传感结构;所述封装层变形时,靠近所述柔性基底两侧的所述缝单元挤压,所述传感结构的电阻变化以感知第一测量范围的物理量;或靠近所述柔性基底中部的缝单元挤压,所述传感结构的电阻变化以感知第二测量范围的物理量。本发明能够兼顾高灵敏度和不同的检测范围,实现在高灵敏度下适用不同测量范围的目的。

主权项:1.一种仿生超敏宽裕柔性应变传感器,其特征在于,所述仿生超敏宽裕柔性应变传感器包括:柔性基底,所述柔性基底上设有多组不同缝宽的缝单元,沿所述缝单元的排布方向,多个所述缝单元的缝宽由所述柔性基底两侧向中部逐渐增大;传感结构,设于所述柔性基底及所述缝单元的表面;封装层,盖设于所述传感结构;所述封装层变形时,靠近所述柔性基底两侧的所述缝单元挤压,所述传感结构的电阻变化以感知第一测量范围的物理量;或靠近所述柔性基底中部的缝单元挤压,所述传感结构的电阻变化以感知第二测量范围的物理量。

全文数据:

权利要求:

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