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申请/专利权人：深圳森丰真空镀膜有限公司
摘要：本发明涉及一种玛瑙色镀膜工件及其制备方法。制备方法包括以下步骤：S1、采用磁控溅射方式在基底材料上沉积过渡层；S2、采用磁控溅射方式在S1中的过渡层上沉积生成TiAlN中间层；S3、采用磁控溅射方式在S2中的TiAlN中间层上沉积生成TiAlSiN玛瑙色涂层。其中，在步骤S3中，控制Si靶的溅射功率，使得沉积的TiAlSiN层中Si元素所占的百分比在7%~8%。本发明获得一种特殊的玛瑙色镀膜工件，并且具备高的硬度和耐磨性，具有更广泛的应用前景。
主权项：1.一种玛瑙色镀膜工件的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：S1、采用磁控溅射方式在基底材料上沉积过渡层；S2、采用磁控溅射方式在S1中的过渡层上沉积生成TiAlN中间层；S3、采用磁控溅射方式在S2中的TiAlN中间层上沉积生成TiAlSiN玛瑙色涂层；其中，在步骤S3中，控制Si靶的溅射功率，使得沉积的TiAlSiN层中Si元素所占的百分比在7%~8%。
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权利要求：
百度查询： 深圳森丰真空镀膜有限公司 玛瑙色镀膜工件及其制备方法
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