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申请/专利权人：北京大学东莞光电研究院
摘要：本发明公开一种利用浮力维持HVPE反应炉预反应速率稳定的镓舟反应器，包括用于盛放镓金属的腔室及内置于腔室并依靠镓金属浮力漂浮于镓金属液面上方的活动盖板；腔室包括进气通道、出气通道和镓源存放区；活动盖板包括顶盖及与顶盖共同形成气路通道的侧壁，侧壁的下方设有基座。本发明盛放镓金属的腔室与活动盖板不连通，因此依靠镓金属浮力漂浮于镓金属液面上方的活动盖板可以随着镓金属消耗随着镓金属液面上下运动。由于活动盖板的重量和位于镓金属内部的底部基座体积固定，因此所受到的浮力固定，使侧壁与顶盖形成的气路通道体积固定，可保证镓金属液面下降但是预反应通道固定，以此实现预反应不随镓金属消耗发生变化。
主权项：1.一种利用浮力维持HVPE反应炉预反应速率稳定的镓舟反应器，其特征在于：包括用于盛放镓金属的腔室及内置于腔室并依靠镓金属浮力漂浮于镓金属液面上方的活动盖板；所述腔室为柱状桶，所述腔室包括进气通道、出气通道和镓源存放区；所述活动盖板包括顶盖及与顶盖共同形成气路通道的侧壁，所述侧壁的下方设有基座；所述侧壁为三个，三个所述侧壁将气路切分为四段并且彼此联通；所述顶盖由圆形底板及设置在圆形底板上的限流壁组成，所述限流壁为环形，所述限流壁的外径与圆形底板相同。
全文数据：
权利要求：
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