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申请/专利权人:中威新能源(成都)有限公司
摘要:本发明涉及一种TCO镀膜方法、TCO镀膜设备、太阳能电池及其制备方法。该TCO镀膜方法中,将待镀件装载于载板上,并进行TCO镀膜处理;在所述TCO镀膜处理步骤中,监测所述TCO镀膜处理步骤中的水汽分压;当监测到所述TCO镀膜处理步骤中的水汽分压大于5.0×e‑3Pa时,停止镀膜或继续完成所述TCO镀膜处理,再对所述载板进行离子刻蚀清洗,以使所述水汽分压不大于5.0×e‑3Pa。该TCO镀膜方法在连续化生产时,能从源头切断水汽波动源,生产稳定性高,进而可以提高太阳能电池的生产效率及生产稳定性。
主权项:1.一种TCO镀膜方法,其特征在于,包括如下步骤:将待镀件装载于载板上,并进行TCO镀膜处理;在所述TCO镀膜处理步骤中,监测所述TCO镀膜处理步骤中的水汽分压;当监测到所述TCO镀膜处理步骤中的水汽分压大于5.0×e-3Pa时,停止镀膜或继续完成所述TCO镀膜处理,再对所述载板进行离子刻蚀清洗,以使所述水汽分压不大于5.0×e-3Pa。
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百度查询: 中威新能源(成都)有限公司 TCO镀膜方法、TCO镀膜设备、太阳能电池及其制备方法
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