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一种Ti/TiN/(TiN+TiAlN)/TiAlN纳米复合涂层及其制备方法 

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摘要:本发明公开了一种TiTiNTiN+TiAlNTiAlN纳米复合涂层及其制备方法,该纳米复合涂层依次由依次过渡层Ti膜、硬质层TiN膜、混合层TiN+TiAlN膜和三元TiAlN膜组成。制备的方法是采用等离子技术依次将Ti、TiN、TiN+TiAlN和TiAlN沉积在热作模具表面,并优选偏压、靶电流、气压、气体流量、沉积温等镀膜参数,控制镀膜厚度及各单层膜柱状晶尺寸,得到最佳综合性能的复合涂层。本发明制备的复合涂层克服了传统热作模具钢H13材料难以满足抗铝液冲蚀磨损的要求,达到强化热作模具钢表面的作用,极大提高了H13钢模具耐高温冲击、耐铝液腐蚀的性能,利于工业化生产。

主权项:1.一种TiTiNTiN+TiAlNTiAlN纳米复合涂层,其特征在于:该纳米复合涂层是在材质为H13钢模具基体上,依次由过渡Ti层、硬质层TiN膜层、混合TiN+TiAlN层、三元TiAlN抗冲蚀膜层组成,结构为TiTiNTiN+TiAlNTiAlN多层金属涂层。

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