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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：一种检验系统可在第一过程步骤之后产生多个样本区的第一步骤图像且在第二过程步骤之后产生所述样本区的第二步骤图像，其中所述第二过程步骤在所述样本区中的至少一者中修改样本。所述系统可进一步将所述样本区中的一者识别为测试区且将剩余样本区中的至少一些识别为比较区，其中所述测试区的所述第二步骤图像是测试图像且所述比较区的所述第二步骤图像是比较图像。所述系统可进一步通过从所述测试图像删减第二步骤比较图像中的至少一者及所述第一步骤图像中的至少两者的组合而产生多步骤差异图像。所述系统可进一步基于所述多步骤差异图像识别与所述第二过程步骤相关联的所述测试区中的缺陷。
主权项：1.一种检验系统，其包括：控制器，其包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令以引起所述一或多个处理器通过以下方式实施检验配方：在第一过程步骤之后接收多个样本区的第一步骤图像；在第二过程步骤之后接收所述多个样本区的第二步骤图像，其中所述第二过程步骤在所述多个样本区中的至少一者中修改样本；将所述多个样本区中的一者识别为测试区且将剩余样本区中的至少一些识别为比较区，其中所述测试区的所述第二步骤图像是测试图像且所述比较区的所述第二步骤图像是第二步骤比较图像；通过所述第二步骤比较图像中的至少一者及所述第一步骤图像中的至少两者的组合从所述测试图像的加权删减而产生多步骤差异图像；及基于所述多步骤差异图像识别与所述第二过程步骤相关联的所述测试区中的缺陷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 具有先前步骤删减的检验
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