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申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种MAD设备的进气系统，包括水蒸气进气单元和源进气单元，水蒸气进气单元包括依次连接的第一氮气源、第一氮气进气管路、水瓶和水蒸气出气管路，水蒸气出气管路上设置有第一压力控制器，源进气单元包括依次连接的第二氮气源、第二氮气进气管路、源瓶和源出气管路，源出气管路上设置有第二压力控制器。本实用新型的MAD设备的进气系统，水瓶及源瓶三甲基铝独立控压，通过第一压力控制器和第二压力控制器设定不同的压力，从而输出不同浓度的水蒸气及三甲基铝，保证了工艺的持续稳定性及改善了均匀性。可以提升的工艺的灵活性，让水瓶及源瓶压力与炉管压力有了更多匹配方式，提升了工艺窗口。
主权项：1.一种MAD设备的进气系统，其特征在于，包括：水蒸气进气单元，包括依次连接的第一氮气源、第一氮气进气管路、水瓶和水蒸气出气管路，所述水蒸气出气管路上设置有第一压力控制器；源进气单元，包括依次连接的第二氮气源、第二氮气进气管路、源瓶和源出气管路，所述源出气管路上设置有第二压力控制器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 MAD设备的进气系统
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