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申请/专利权人：厦门大学
摘要：一种基于无机卤族钙钛矿量子点的新型光刻胶和光刻方法，包括以下步骤：S1，合成无机卤族钙钛矿量子点，并利用三苯基氧化膦配体对量子点进行表面修饰，使其能与多种极性溶剂兼容；S2，利用树脂、醇类、酯类或酮类溶剂、光引发剂和其他助剂混合，制备基于量子点的新型光刻胶；S3，对衬底进行表面准备；S4，在衬底上旋涂光刻胶并前烘焙；S5，对衬底上的光刻胶进行对准和曝光；S6，对该光刻胶进行后烘焙、显影和硬烘焙。本发明提供了一种改性无机卤族钙钛矿量子点的合成方法及新型光刻胶的配制与光刻工艺。本发明方法与半导体制造产业的光刻工艺相兼容，为半导体和显示领域提供技术方案。
主权项：1.一种基于无机卤族钙钛矿量子点的新型光刻胶，其特征在于：包括量子点、聚合物、溶剂、光引发剂和其他助剂；所述量子点为利用三苯基氧化膦配体修饰的无机卤族钙钛矿量子点；所述量子点的制备方法包括以下步骤：S1.1油酸铯前驱液的准备：将碳酸铯与油酸混合后在惰性气体保护下加热至完全溶解；S1.2碘化铅或溴化铅的增溶：将碘化铅或溴化铅加入十八烯中并在惰性气体保护下加入配体使碘化铅或溴化铅完全溶解，得到反应体系；S1.3油酸铯前驱液的注射：将上述反应体系升温至注射温度后，将油酸铯前驱液注射入反应体系并使反应体系迅速降温至室温，得到量子点粗产物；S1.4量子点配体修饰：将量子点粗产物与三苯基氧化膦配体混匀后离心；S1.5量子点的分离纯化：将量子点的反溶剂加入量子点中并离心。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门大学 一种基于无机卤族钙钛矿量子点的新型光刻胶和光刻方法
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