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一种通过激光加工微结构提升薄膜粘接性的方法 

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申请/专利权人:北京航空航天大学

摘要:一种通过激光加工微结构提升薄膜粘接性的方法,属于陶瓷薄膜技术领域,包括以下步骤:金属基板清洗与预处理;使用纳秒激光在金属基板上加工点阵或线路等微结构:将预处理后的金属基板置于可控温的加热台上,设置加热温度;调整纳秒脉宽激光器的光斑直径;设置激光扫描路径;调整激光加工参数,然后开始进行激光加工;通过喷墨打印与激光烧结工艺在加工出微结构的金属基板上制造陶瓷基薄膜并测试其粘接性。本发明无需在金属基板与陶瓷薄膜间额外制造中间过渡层,可高效实现薄膜粘接性能的大幅提升。本发明所制造的陶瓷基薄膜粘接性提升了70‑85%。

主权项:1.一种通过激光加工微结构提升薄膜粘接性的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一、金属基板清洗与预处理;步骤二、金属基板微结构加工;所述金属基板微结构为点阵及其衍生形貌,其加工方法为:将预处理后的金属基板置于可控温的加热台上,设置加热温度为50-52℃;调整纳秒脉宽激光器的光斑直径为0.07-0.1mm;设置激光扫描路径为之字形模式;调整激光加工参数至:激光功率20-22W,扫描速度2000-2500mms,扫描线间距130-150μm,扫描次数1-2次,然后开始进行激光加工;所述金属基板微结构为线路及其衍生形貌,其加工方法为:将预处理后的金属基板置于可控温的加热台上,设置加热温度为50-52℃;调整纳秒脉宽激光器的光斑直径为0.07-0.1mm;设置激光扫描路径为十字交叉状模式;调整激光加工参数至:激光功率14-16W,扫描速度1500-1800mms,扫描线间距300-350μm,扫描次数6-9次,然后开始进行激光加工;步骤三、陶瓷基薄膜制造与粘接性测定;通过喷墨打印与激光烧结工艺在加工出微结构的金属基板上制造陶瓷基薄膜并测试其粘接性。

全文数据:

权利要求:

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