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摘要：用于MOCVD与MBE样品交互的真空互联系统，包括依次对接的MOCVD生长室、MOCVD过渡室、翻转室、MBE过渡室和MBE生长室，相邻腔室之间通过隔离阀相互隔离，MOCVD过渡室设有MOCVD过渡室机械手，翻转室内设有转移盘、过滤盘、可升降和旋转的中转部件、第一升降组件以及第二升降组件，转移盘上设有多个晶圆载具位，过滤盘上设有多个晶圆过滤通孔，晶圆过滤通孔的直径大于晶圆的直径且小于晶圆载具的直径，过滤盘上表面和下表面分别设有放置部，翻转室一侧对接有机械手箱，机械手箱内设有翻转机械手，MBE过渡室设有MBE过渡室机械手。本发明无需接触晶圆生长面，降低了晶圆表面损伤和接触污染的风险，无需夹持晶圆周缘区域，降低了挤压应力造成的碎片风险。
主权项：1.一种用于MOCVD与MBE样品交互的真空互联系统，其特征在于：包括依次对接的MOCVD生长室1、MOCVD过渡室2、翻转室3、MBE过渡室4和MBE生长室5，相邻腔室之间通过隔离阀相互隔离，所述MOCVD过渡室2设有MOCVD过渡室机械手21，所述翻转室3内设有转移盘31、过滤盘32、可升降和旋转的中转部件33、与转移盘31或钼托200可拆卸连接的第一升降组件34以及与过滤盘32可拆卸连接的第二升降组件35，所述转移盘31上设有多个晶圆载具位311，所述过滤盘32上设有多个晶圆过滤通孔321，所述晶圆过滤通孔321的直径大于晶圆100的直径且小于晶圆载具101的直径，过滤盘32上表面和下表面分别设有用于放置所述钼托200和所述转移盘31的放置部322，所述翻转室3一侧对接有机械手箱6，所述机械手箱6内设有翻转机械手61，所述MBE过渡室4设有MBE过渡室机械手41。
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百度查询： 湖南烁科晶磊半导体科技有限公司 一种用于MOCVD与MBE样品交互的真空互联系统及方法
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