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一种磁悬浮式分子泵 

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申请/专利权人:合肥昱驰真空技术有限公司

摘要:本发明涉及分子泵领域,提供一种磁悬浮式分子泵,包括机架,所述机架的顶部中心处对称设有两个支撑座,所述支撑座上转动连接有活动座,两个所述活动座的顶部与支撑板的底部连接,所述支撑板的外表面设有水平尺,所述支撑板的顶部中心处设有分子泵主体。本发明具有如下的有益效果,通过角度调节机构的设计,从可以根据水平尺来调节移动座一与移动座二两者移动,移动座一与移动座二两者移动的同时通过挤压斜面上的凸条来推动支撑板旋转,进而调节支撑板的水平角度,同时,通过牵引绳一与牵引绳二两者一个放伸一个收卷的动作可以与支撑板的旋转动作相配合,进而进一步提高支撑板的旋转精度以及旋转的稳定性。

主权项:1.一种磁悬浮式分子泵,其特征在于,包括机架1,所述机架1的顶部中心处对称设有两个支撑座20,所述支撑座20上转动连接有活动座21,两个所述活动座21的顶部与支撑板22的底部连接,所述支撑板22的外表面设有水平尺29,所述支撑板22的顶部中心处设有分子泵主体34,所述机架1内部设有与所述支撑板22相配合的角度调节机构,所述角度调节机构包括驱动组件与联动组件,所述机架1内部设有内腔2,所述驱动组件与所述联动组件两者位于所述内腔2内部,所述驱动组件包括固定在所述内腔2内底部中心处的电机4,所述电机4的顶部输出端设有主动锥形齿轮5,所述驱动组件还包括两组对称固定在所述内腔2内部的安装座6,两组所述安装座6上分别活动连接有旋转轴一7与旋转轴二8,所述旋转轴一7与所述旋转轴二8两者相对一侧的端部分别固定有从动锥形齿轮一9与从动锥形齿轮二10,所述从动锥形齿轮一9与所述从动锥形齿轮二10两者与所述主动锥形齿轮5相啮合,所述联动组件包括固定在所述旋转轴一7上的收卷辊一11与外螺纹一15,所述收卷辊一11上收卷有牵引绳一13,所述牵引绳一13的端部贯穿至所述机架1的上方与所述支撑板22的底部连接固定,所述外螺纹一15上螺纹连接有移动板一17,所述移动板一17的顶端通过移动孔3贯穿至所述机架1的上方与移动座一26连接固定,所述移动座一26的侧边与所述支撑板22的侧边挤压在一起。

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