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申请/专利权人：南昌大学

摘要：本发明涉及等离子体电位测量技术领域，尤其是涉及一种等离子体电位测量装置。包括装置主体以及并列安装在装置主体上的朗缪尔探针机构和圆珠笔探针机构，所述装置主体内具有两个型腔，其中通过驱动机构驱动朗缪尔探针针芯上下移动；通过驱动机构驱动第二屏蔽器旋转带动自由直径屏蔽口切换口径大小，通过驱动机构驱动圆珠笔探针针芯上下移动。本发明通过针芯及其限位器、带齿轮的深度调节器以及驱动电机可精准控制针芯伸缩，能够准确的测量等离子体电位以及电子温度。利用自由直径屏蔽器不仅可以避免因手动推进导致的推进过激或不足引起的较大测量误差的风险，同时还扩大了圆珠笔探针的适用范围，提升了其测量精度。

主权项：1.一种等离子体电位测量装置，其特征在于，包括：装置主体（31）以及并列安装在装置主体（31）上的朗缪尔探针机构和圆珠笔探针机构，所述装置主体（31）内具有两个型腔，所述装置主体（31）设有三个相同的驱动机构，其中：朗缪尔探针机构包括朗缪尔探针针芯（11）、第一深度调节器（12）和第一屏蔽器（13）和第一限位器（14），所述第一深度调节器（12）装配有第一副齿轮，所述朗缪尔探针针芯（11）穿透第一限位器（14）与所述第一限位器（14）固定连接，所述第一屏蔽器（13）固定安装在所述装置主体（31）底部，所述朗缪尔探针针芯（11）可穿过并延伸出所述第一屏蔽器（13），所述第一限位器（14）设置在型腔内，可沿型腔上下移动，所述第一限位器（14）表面具有外螺纹，通过外螺纹与第一深度调节器（12）螺纹连接，所述第一深度调节器（12）装配在其中一个型腔的所述装置主体（31）上，所述第一副齿轮与驱动机构配合，通过驱动机构驱动第一深度调节器（12）带动第一限位器（14）及朗缪尔探针针芯（11）上下移动；圆珠笔探针机构包括圆珠笔探针针芯（21）、第二深度调节器（22）、第二屏蔽器（23）、自由直径屏蔽口（24）、第二限位器（25）和第三副齿轮（28），所述第二深度调节器（22）装配有第二副齿轮，所述自由直径屏蔽口（24）固定安装在远离第三副齿轮（28）的所述第二屏蔽器（23）端部内，所述圆珠笔探针针芯（21）穿透第二限位器（23）与所述第二限位器（23）固定连接，所述第二屏蔽器（13）活动安装在所述装置主体（31）底部，所述第二屏蔽器（23）外壁固定安装有第三副齿轮（28），所述第三副齿轮（28）与驱动机构配合，通过驱动机构驱动第二屏蔽器（23）旋转带动自由直径屏蔽口（24）切换口径大小，所述圆珠笔探针针芯（21）可穿过并延伸出所述第二屏蔽器（23），所述第二限位器（25）设置在型腔内，可沿型腔上下移动，所述第二限位器（25）表面具有外螺纹，通过外螺纹与第二深度调节器（22）螺纹连接，所述第二深度调节器（22）装配在另一个型腔的所述装置主体（31）上，所述第二副齿轮与驱动机构配合，通过驱动机构驱动第二深度调节器（22）带动第二限位器（25）及圆珠笔探针针芯（21）上下移动。

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