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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：提供了一种包括监测标记的光掩模，所述光掩模包括：基体；图案层，设置在基体上；以及监测标记，包括包含多个测试图案的第一子监测标记，多个测试图案被限定为穿透基体和图案层的开口。第一子监测标记包括第一测试图案至第n测试图案，第一测试图案至第n测试图案中的每个包括第一边缘和第二边缘，第一边缘和第二边缘沿着第一方向延伸并且沿着与第一方向不同的第二方向彼此面对，第一测试图案至第n测试图案之中的第j测试图案的第二边缘与第j测试图案的第一边缘沿着第二方向间隔开单位宽度的kn+j倍，单位宽度沿着第二方向是恒定的，n是大于1的自然数，j是1至n的自然数，并且k是自然数。
主权项：1.一种光掩模，所述光掩模包括：基体；图案层，设置在所述基体上；以及监测标记，包括包含多个测试图案的第一子监测标记，所述多个测试图案被限定为穿透所述基体和所述图案层的开口，其中，所述第一子监测标记包括第一测试图案至第n测试图案，其中，所述第一测试图案至所述第n测试图案中的每个包括第一边缘和第二边缘，所述第一边缘和所述第二边缘沿着第一方向延伸并且沿着与所述第一方向不同的第二方向彼此面对，其中，所述第一测试图案至所述第n测试图案之中的第j测试图案的所述第二边缘与所述第j测试图案的所述第一边缘沿着所述第二方向间隔开单位宽度的kn+j倍，并且所述单位宽度沿着所述第二方向是恒定的，其中，n是大于1的自然数，j是1至n的自然数，并且k是自然数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星显示有限公司 包括监测标记的光掩模
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