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申请/专利权人：国家纳米科学中心
摘要：本发明提供一种近场耦合的密封力测量装置及其密封力测量方法和应用，所述密封力测量装置包括力测量组件、数据传输组件和数据读取组件；所述力测量组件包括力学敏感结构和声表面波应变测量芯片阵列；所述力学敏感结构包括叠层设置的第一敏感部和第二敏感部；所述第一敏感部包括支撑结构和设置于支撑结构上的应变膜层，所述应变膜层、支撑结构与第二敏感部围成应变空间；所述声表面波应变测量芯片阵列设置在所述应变膜层上。本发明能够实现机械臂向样品承接台转移吸微量样品时的力测量，进而实现接触力测量，可满足近场耦合的密封力测量需求。
主权项：1.一种近场耦合的密封力测量装置，其特征在于，所述密封力测量装置包括力测量组件、数据传输组件和数据读取组件；所述力测量组件包括力学敏感结构和声表面波应变测量芯片阵列；所述力学敏感结构包括叠层设置的第一敏感部和第二敏感部；所述第一敏感部包括支撑结构和设置于支撑结构上的应变膜层，所述应变膜层、支撑结构与第二敏感部围成应变空间；所述声表面波应变测量芯片阵列设置在所述应变膜层上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国家纳米科学中心 近场耦合的密封力测量装置及其密封力测量方法和应用
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