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申请/专利权人：东南大学
摘要：本发明公开了一种电极可重构的宽量程电导率传感器，包括半导体衬底、设置在衬底表面的V形梁、弓形梁、折叠梁、连接杆、圆形电极、锚区和限位圆柱，第一圆形电极和第二圆形电极分别设置于第一弓形梁和第二弓形梁短轴的中心，并分别通过第一折叠梁和第二折叠梁与锚区相连，构成传感器的检测电极，传感器利用V形梁驱动弓形梁在水平面内发生翻折，进而调节两个检测电极之间的相对距离，实现对传感器检测量程的重构。随后，通过向检测电极施加交变电压信号，进而获取流经电导池的电流信号，实现溶液电导率的检测。本发明提供的传感器结构简单，通用性强，适用于宽量程的电导率测量。
主权项：1.一种电极可重构的宽量程电导率传感器，其特征在于：包括半导体衬底1，设置在所述半导体衬底1表面的第一V形梁2、第二V形梁3、第一弓形梁4、第二弓形梁5、第一折叠梁6、第二折叠梁7、第一圆形电极8、第二圆形电极9、第一锚区10、第二锚区11、第三锚区12、第四锚区13、第五锚区14、第六锚区15、第一限位圆柱16、第二限位圆柱17、第一连接杆18和第二连接杆19，其中,所述第一V形梁2的两端分别与第一锚区10和第二锚区11连接，第一V形梁2的驱动杆同第一弓形梁4长轴的中部连接，第一弓形梁4短轴的上端通过第一连接杆18连接第二弓形梁5的上端，第一弓形梁4短轴的下端通过第二连接杆19连接第二弓形梁5的下端，第一弓形梁4长轴的中部同第二V形梁4的驱动杆连接，第二V形梁4的两端分别与第三锚区12和第四锚区13连接；所述第一圆形电极8位于第一弓形梁4短轴的中心，并通过第一折叠梁6与第五锚区14连接；第二圆形电极9位于第二弓形梁5短轴的中心，并通过第二折叠梁7与第六锚区15连接；第一圆形电极8与第二圆形电极9构成传感器的检测电极；所述第一限位圆柱16和第二限位圆柱17固定于传感器的中部并呈对称分布，与第一圆形电极8和第二圆形电极9保持在同一水平线上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东南大学 一种电极可重构的宽量程电导率传感器
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