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申请/专利权人：台积电(中国)有限公司;南京蔚宇电子系统工程有限公司
摘要：本实用新型公开了反应炉清理防粉尘逸散风圈，包括把手、内圈托架、风圈主体、吸尘管道接口，所述风圈主体上设置有相对分布的把手和吸尘管道接口，所述风圈主体内部为中空，内侧壁上等角度设置有若干通风槽，所述风圈主体上设置有三个内圈托架，所述内圈托架由螺栓、架体、活动块、螺帽组成，所述架体截面为L型，一侧面上开有通槽，活动块通过螺栓设置在另一侧面上，并通过螺帽限位。本实用新型中的风圈能够对顶盖上的粉尘进行吸附，避免对人体有害粉尘逸散，结构简单，实用方便快捷。
主权项：1.反应炉清理防粉尘逸散风圈，其特征在于，包括把手、内圈托架、风圈主体、吸尘管道管接口，所述风圈主体上设置有相对分布的把手和吸尘管道接口，所述风圈主体内部为中空，内侧壁上等角度设置有若干通风槽，所述风圈主体上设置有三个内圈托架，所述内圈托架由螺栓、架体、活动块、螺帽组成，所述架体截面为L型，一侧面上开有用于活动块通过的通槽，活动块通过螺栓设置在另一侧面上，并通过螺帽限位。
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权利要求：
百度查询： 台积电(中国)有限公司 南京蔚宇电子系统工程有限公司 反应炉清理防粉尘逸散风圈
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