龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：惠州升润电子商务有限公司
摘要：本发明涉及性能分析技术领域，尤其涉及一种微机电系统的性能分析方法。所述方法包括以下步骤：获取MEMS振荡器振荡频率范围数据；对MEMS振荡器振荡频率范围数据进行异频激励信号设计，生成异频激励信号；对异频激励信号进行光学信号转换，获得异频激励光学信号；对异频激励光学信号进行自由空间传输，得到振荡器端异频激励光学信号；对振荡器端异频激励光学信号进行光学载波解调，生成振荡器端异频激励信号；利用振荡器端异频激励信号对MEMS振荡器进行多通道激励并获取激励响应信号；本发明通过非接触式的信号传输、高灵敏度的测量和更精细的相位差分析，实现全面评估MEMS振荡器的性能，并为后续改进和优化提供了有力支持。
主权项：1.一种微机电系统的性能分析方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：获取MEMS振荡器振荡频率范围数据；对MEMS振荡器振荡频率范围数据进行异频激励信号设计，生成异频激励信号；步骤S2：对异频激励信号进行光学信号转换，获得异频激励光学信号；对异频激励光学信号进行自由空间传输，得到振荡器端异频激励光学信号；对振荡器端异频激励光学信号进行光学载波解调，生成振荡器端异频激励信号；步骤S3：利用振荡器端异频激励信号对MEMS振荡器进行多通道激励并获取激励响应信号；对激励响应信号进行频谱分析，生成响应信息幅度数据；基于振荡器端异频激励信号对响应信息幅度数据进行频率稳定性评估，生成振荡器频率稳定性数据；步骤S4：基于预设的稳定参考信号对激励响应信号进行多通道相位比较，生成相位差信号集；对相位差信号集进行统计分析，得到相位噪声数据；步骤S5：对振荡器频率稳定性数据和相位噪声数据进行拟合回归线计算，得到趋势关系数据；根据趋势关系数据对MEMS振荡器进行振荡器性能评估，生成MEMS振荡器性能评估结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 惠州升润电子商务有限公司 一种微机电系统的性能分析方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号