龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：陛通半导体设备(苏州)有限公司
摘要：本发明提供一种声波辅助薄膜沉积设备，包括两个沿左右方向依次分布的工艺腔体，每个工艺腔体中均设有加热器及声波发生模块，声波发生模块能产生超声波或兆声波，加热器位于声波发生模块上，加热器包括加热层，声波发生模块产生的超声波或兆声波能通过加热层传递至晶圆，且两个工艺腔体之间设有声波隔离单元，声波隔离单元包括声波隔离块，声波隔离块包括两个沿左右方向间隔分布且相互平行的声波隔离板及声波反射板，声波反射板的两端分别与两个所述声波隔离板固接，声波反射板相对于两个所述声波隔离板倾斜设置，声波反射板与声波隔离板之间形成声波隔离空腔。本声波辅助薄膜沉积设备，能有效提高薄膜的覆盖率及均匀性。
主权项：1.一种声波辅助薄膜沉积设备，其特征在于，包括两个沿左右方向依次分布的工艺腔体，每个所述工艺腔体中均设有加热器及声波发生模块，所述声波发生模块能产生超声波或兆声波，所述加热器位于声波发生模块上，所述加热器包括用于与晶圆直接接触、以对晶圆进行加热的加热层，所述声波发生模块产生的超声波或兆声波能通过加热层传递至晶圆，且两个所述工艺腔体之间设有声波隔离单元，所述声波隔离单元包括声波隔离块，所述声波隔离块包括两个沿左右方向间隔分布且相互平行的声波隔离板及设置于两个声波隔离板之间的声波反射板，所述声波反射板的两端分别与两个所述声波隔离板固接，且所述声波反射板相对于两个所述声波隔离板倾斜设置，所述声波反射板与声波隔离板之间形成声波隔离空腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 陛通半导体设备(苏州)有限公司 声波辅助薄膜沉积设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号