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申请/专利权人：微芯片技术股份有限公司
摘要：蒸气单元可包括主体，该主体包括在该主体内的腔。在该主体内的界面处键合到第二衬底的第一衬底，该第一衬底、该第二衬底或该第一衬底与该第二衬底之间的界面材料中的至少一者可在表面中限定至少一个凹部或孔。该至少一个凹部或孔的最小尺寸可约为500微米或更小，如在平行于部分地限定该腔的该第一衬底的至少一个表面的方向上测量的。
主权项：1.一种蒸气单元，包括：主体，所述主体限定在所述主体内的腔，所述主体包括在界面处键合到第二衬底的第一衬底；所述第一衬底、所述第二衬底或所述第一衬底与所述第二衬底之间的界面材料中的至少一者限定至少一个凹部或孔，所述至少一个凹部或孔的最小尺寸约为500微米或更小，如在平行于部分地限定所述腔的所述第一衬底的至少一个表面的方向上测量的。
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百度查询： 微芯片技术股份有限公司 蒸气单元以及相关系统和方法
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