龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：艾克塞利斯科技公司
摘要：一种离子源具有电弧室，所述电弧室具有一个或多个辐射产生特征、包围内部容积的电弧室主体以及限定在其中的至少一个气体入口孔。气体源通过气体入口孔提供诸如源种类气体或卤化物的气体。源种类气体可以是铝基离子源材料，例如二甲基氯化铝。靠近气体入口孔定位的一个或多个屏蔽件提供气体入口孔和内部容积之间的流体连通，最小化从一个或多个辐射产生特征到气体入口孔的视线，并且基本上防止热辐射从一个或多个辐射产生特征到达气体入口孔。
主权项：1.一种离子源，包括：电弧室，其具有限定在其中的一个或多个辐射产生特征，其中，所述电弧室包括大体包围内部容积的电弧室主体，并且其中，所述电弧室主体具有限定在其中的气体入口孔；气体源，其被配置为通过所述气体入口孔提供气体；以及一个或多个屏蔽件，其定位成靠近所述气体入口孔，其中，所述一个或多个屏蔽件提供所述气体入口孔和所述内部容积之间的流体连通，并且其中，所述一个或多个屏蔽件最小化从所述一个或多个辐射产生特征到所述气体入口孔的视线，并且被配置为基本上防止热辐射从所述一个或多个辐射产生特征到达所述气体入口孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 艾克塞利斯科技公司 用于离子源的屏蔽气体入口
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号