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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：本文中描述了一种用于确定与待印制于衬底上的图案相关联的随机边缘放置误差的方法。所述方法包括：经由量测工具采集所述图案的在所述衬底上的限定部位处的多个图像，而不在所述多个图像之间执行衬底对准；生成至少两个数据：i使用所述多个图像的第一图像集合产生与所述图案相关联的第一数据，和ii使用多个图像的第二图像集合产生与所述图案相关联的第二数据。所述第一图像集合和所述第二图像集合包括至少一个不同图像。还在所述限定部位处使用与所述图案相关联的所述第一数据和所述第二数据来确定例如经由分解算法与所述图案相关联的所述随机边缘放置误差。
主权项：1.一种用于确定由于经由量测工具的测量所导致的衬底的抗蚀剂中的收缩的方法，所述方法包括：从所述量测工具采集所述图案的在所述衬底上的限定部位处的多个图像，而没有在所述多个图像的采集之间执行衬底对准；生成至少两个数据：i使用所述多个图像的第一图像集合产生与所述图案相关联的第一数据，和ii使用多个图像的第二图像集合产生与所述图案相关联的第二数据，其中所述第一图像集合包括所述多个图像中的至少两个连续图像，并且所述第二图像集合包括所述多个图像中的至少两个不同的连续图像；以及通过硬件计算机系统并且基于所述第一数据与所述第二数据之间的差来确定所述衬底的所述抗蚀剂中的所述收缩。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于确定与期望图案相关联的随机变化的方法
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