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申请/专利权人：洛阳晶联光电材料有限责任公司
摘要：本发明公开了一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法，该旋转靶材包括氧化镍和掺杂氧化物，所述氧化镍的质量分数不小于95.0wt%，掺杂氧化物的总质量分数不高于7.5wt%，所述掺杂氧化物选自氧化锌、氧化锶、氧化锡中的至少两种，且选择对应氧化物的质量分数范围为：氧化锌0.1~1.0wt%、氧化锶0.1~1.5wt%、氧化锡0.1~5.0wt%。本发明的氧化镍旋转靶材制备时，以氧化镍粉体、掺杂氧化物粉体作为原料，经过造粒、冷等静压、低温常压分段烧结、随炉冷却步骤，即得到旋转靶材。本发明采用低温常压分段烧结，制得相对密度达到99.29%以上的高密度旋转靶材。本发明的氧化镍旋转靶材致密性好、成本低，可应用于钙钛矿太阳能电池片量产中。
主权项：1.一种高密度氧化镍基旋转靶材，其特征在于，包括氧化镍和掺杂氧化物，所述掺杂氧化物的总质量分数不高于7.5wt%，所述掺杂氧化物选自氧化锌、氧化锶、氧化锡中的至少两种，且选择对应氧化物的质量分数范围为：氧化锌0.1~1.0wt%、氧化锶0.1~1.5wt%、氧化锡0.1~5.0wt%。
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权利要求：
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