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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥的减压干燥装置。减压干燥装置包括腔室、载台、减压机构以及底面整流板。底面整流板位于被支撑于载台的基板与腔室的底板部之间。底面整流板沿着底板部的上表面而展开。在腔室内的减压时，基板的上表面侧的气体通过底面整流板的侧方而流向底面整流板的下方。由此，能够抑制气流集中在基板的周缘部。而且，不拘于基板的方向如何，在俯视时，底面整流板均大于基板。因此，能够抑制减压时的气体的流动因被支撑于载台的基板的方向而发生变化。因此，能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥。
主权项：1.一种减压干燥装置，通过减压来使形成在基板上表面的涂布层干燥，所述减压干燥装置包括：腔室，收容基板；载台，在所述腔室的内部，从下方支撑基板；底面整流板，位于被支撑于所述载台的基板与所述腔室的底板部之间，沿着所述底板部的上表面而展开；多个排气口，位于所述底面整流板的下方；以及减压机构，经由所述多个排气口来抽吸所述腔室内的气体，不拘于被支撑于载台的基板的方向如何，在俯视时，所述底面整流板均大于基板，所述载台具有：支撑板；以及多个支撑销，竖立设置在所述支撑板的上表面，且接触至基板的下表面，所述底面整流板是从所述支撑板隔开间隔而位于下侧，所述减压干燥装置还包括：侧面整流板，位于被支撑于所述载台的基板与所述腔室的侧壁部之间，沿着所述侧壁部的内面而展开，所述载台能在下降位置与比所述下降位置高的上升位置之间升降，所述侧面整流板的上端部比被支撑于所述下降位置的所述载台的基板的高度高，且比被支撑于所述上升位置的所述载台的基板的高度低。
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