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申请/专利权人：日本特殊陶业株式会社
摘要：抑制由于每个制造线或每个制造装置等的特性而使整体的温度分布偏离所期望的分布的情况。保持装置的制造方法包括：准备第一接合体的工序，该第一接合体具备：加工前陶瓷部件，具有第一表面以及配置于与第一表面相反的一侧且与第一表面大致平行的第五表面；基座部件；及接合部，配置在加工前陶瓷部件的第一表面与基座部件的第三表面之间，将加工前陶瓷部件与基座部件接合，在所述第一接合体中，在第一表面与第三表面隔着接合部对置的第一方向上，接合部的厚度从接合部的与第一方向大致垂直的第二方向的一端侧朝向另一端侧变厚；及对第一接合体中的加工前陶瓷部件的第五表面进行加工的工序。
主权项：1.一种保持装置的制造方法，所述保持装置具备：陶瓷部件，具有第一表面和与所述第一表面相反的一侧的第二表面；基座部件，具有第三表面和与所述第三表面相反的一侧的第四表面，并配置成所述第三表面位于所述陶瓷部件的所述第一表面侧；及接合部，配置在所述陶瓷部件的所述第一表面与所述基座部件的所述第三表面之间，将所述陶瓷部件与所述基座部件接合，所述保持装置将对象物保持在所述陶瓷部件的所述第二表面上，其特征在于，包括：准备第一接合体的工序，所述第一接合体具备：加工前陶瓷部件，该加工前陶瓷部件为形成所述第二表面之前的所述陶瓷部件，具有所述第一表面以及配置于与所述第一表面相反的一侧且与所述第一表面大致平行的第五表面；所述基座部件；及所述接合部，配置在所述加工前陶瓷部件的所述第一表面与所述基座部件的所述第三表面之间，将所述加工前陶瓷部件与所述基座部件接合，在所述陶瓷部件与所述基座部件排列的第一方向上，所述接合部的厚度从所述接合部的与所述第一方向大致垂直的第二方向的一端侧朝向另一端侧变厚；及对所述第一接合体中的所述加工前陶瓷部件的所述第五表面进行加工的工序，所述一端侧对应于所述加工前陶瓷部件的产生了高温的温度特异点的端侧，所述另一端侧对应于所述加工前陶瓷部件的产生了低温的温度特异点的端侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本特殊陶业株式会社 保持装置的制造方法以及保持装置
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