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申请/专利权人：株式会社TMEIC
摘要：本发明的目的在于比较低价地提供具有防止电极用介电膜的破损现象的电极构造的活性气体生成装置。本发明在高压侧电极构成部1在电极用导电膜10的下表面上设置电极用主要介电膜11，在电极用主要介电膜11的下方隔开上方主要·追加电介质间距离d21配置电极用追加介电膜12。电极用主要介电膜11俯视时具有将电极用导电膜10全部包含在内、比电极用导电膜10大的形成面积。电极用追加介电膜12俯视时具有将电极用导电膜10包含在内、比电极用导电膜10稍大且比电极用主要介电膜11小的形成面积。接地侧电极构成部2也具有与高压侧电极构成部1的上述特征同样的特征。
主权项：1.一种活性气体生成装置，生成使供给至放电空间的原料气体活化而得到的活性气体，其特征在于，具备：第一电极构成部；以及第二电极构成部，与上述第一电极构成部对置地设置，上述第一电极构成部具有第一电极用导电膜，上述第二电极构成部具有第二电极用导电膜，上述第一以及第二电极用导电膜之间被施加交流电压，在上述第一以及第二电极构成部对置的主要电介质空间内，以包含上述第一以及第二电极用导电膜在俯视时重复的区域的方式存在有上述放电空间，上述第一电极构成部还具有：第一电极用主要介电膜，相对于上述第一电极用导电膜在上述放电空间的方向上相邻接地设置；以及第一电极用追加介电膜，相对于上述第一电极用主要介电膜在上述放电空间的方向上隔开第一距离地设置，在上述第一电极用主要介电膜与上述第一电极用追加介电膜之间设置有第一追加电介质空间，在上述第一电极用追加介电膜与上述第二电极构成部之间设置有上述主要电介质空间，上述第一追加电介质空间被设定为，在上述主要电介质空间内的上述放电空间产生电介质阻挡放电时，在上述第一追加电介质空间不产生电介质阻挡放电，上述第一电极用主要介电膜在俯视时具有将上述第一电极用导电膜包含在内、比上述第一电极用导电膜大的形成面积，上述第一电极用追加介电膜在俯视时具有将上述第一电极用导电膜包含在内、比上述第一电极用导电膜大且比上述第一电极用主要介电膜小的形成面积。
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