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申请/专利权人：江苏和达电子科技有限公司
摘要：本发明提供一种用于显示制程蚀刻废液的回收系统及方法，包括依次连接的反应槽、螺旋回流槽，反应槽内含有蚀刻废液以及与蚀刻废液反应的阳离子无机添加剂，通过向反应槽中投入阳离子无机添加剂，得到絮凝物和絮凝后的蚀刻废液，然后根据蚀刻新液的配置要求，利用絮凝后的蚀刻废液配制蚀刻新液，配制的蚀刻新液提升了铜承载力，并可控制一定的反应速率，使得蚀刻液的生产满足生产的要求。
主权项：1.一种用于显示制程蚀刻废液的回收方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：将蚀刻废液输送入反应槽（1），并向反应槽（1）中投入阳离子无机添加剂，对蚀刻废液处理；步骤2：将步骤1中的蚀刻废液输送入螺旋回流槽（3），进行沉降分离，得到产成品；所述阳离子无机添加剂选自单阳离子无机添加剂、多阳离子无机添加剂中的一种或者更多种的组合；所述单阳离子无机添加剂选自聚硅酸类无机添加剂、聚磷酸类无机添加剂中的一种或者更多种的组合；所述多阳离子无机添加剂为聚合硫酸氯化铁铝；所述阳离子无机添加剂占蚀刻废液百分比质量为1%-6%。
全文数据：
权利要求：
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