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一种超纯水净化装置 

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申请/专利权人:深圳市和科达精密清洗设备股份有限公司

摘要:本实用新型涉及水处理技术领域,具体公开了一种含盐量低、电导率低的超纯水净化装置,包括顺序连通的原水箱、多介质过滤器、活性炭过滤器、一级反渗透装置、二级反渗透装置、连续电除盐装置、有机物脱除器、一级抛光混床、二级抛光混床和膜滤器,有机物脱除器输入端与连续电除盐装置输出端连通,一级抛光混床输入端与有机物脱除器输出端连通,二级抛光混床输入端与一级抛光混床输出端连通,膜滤器输入端与二级抛光混床输出端连通。上述超纯水净化装置经初处理后,通过有机物脱除器去除水中有机物,通过一级抛光混床和二级抛光混床提升水质,采用膜滤器滤除水中微粒杂质,净化后,超纯水含盐量和电导率显著降低,能够满足半导体行业的用水要求。

主权项:1.一种超纯水净化装置,包括顺序连通的原水箱、多介质过滤器、活性炭过滤器、一级反渗透装置、二级反渗透装置和连续电除盐装置,其特征在于,还包括有机物脱除器、一级抛光混床、二级抛光混床和膜滤器,所述有机物脱除器的输入端与连续电除盐装置的输出端连通,一级抛光混床的输入端与有机物脱除器的输出端连通,二级抛光混床的输入端与一级抛光混床的输出端连通,膜滤器的输入端与二级抛光混床的输出端连通,膜滤器的输出端输出超纯水;所述一级抛光混床包括串联设置的两组第一抛光混床,每组第一抛光混床包括并联设置的多台第一混床;所述二级抛光混床包括串联设置的两组第二抛光混床,每组第二抛光混床包括并联设置的多台第二混床。

全文数据:

权利要求:

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