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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明公开基板处理方法以及基板处理装置，能够调节对基板的冷却效率。根据本发明的一实施例，可以提供一种基板处理方法，包括：加热步骤，加热基板表面；以及冷却步骤，向所述基板的下面供应冷却气体来冷却所述基板，所述冷却步骤包括控制冷却条件的冷却条件控制过程。
主权项：1.一种基板处理方法，包括：加热步骤，加热基板表面；以及冷却步骤，向所述基板的下面供应冷却气体来冷却所述基板。
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百度查询： 细美事有限公司 基板处理方法以及基板处理装置
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