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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本公开提供了一种集成排气管道和衬底处理设备。根据本公开的集成排气管道包括：集成管道主体，该集成管道主体具有多个排气区域和与多个排气区域连通的排气孔；和孔分隔壁，该孔分隔壁设置在排气孔的内部以划分排气孔，使得多个排气区域被阻止通过排气孔而彼此连通。
主权项：1.一种集成排气管道，包括：集成管道主体，所述集成管道主体具有多个排气区域和与所述多个排气区域连通的排气孔；和孔分隔壁，所述孔分隔壁设置在所述排气孔的内部以划分所述排气孔，使得所述多个排气区域被阻止通过所述排气孔而彼此连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 集成排气管道和衬底处理设备
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