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申请/专利权人：上海广川科技有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆标识码读取装置和方法及其形成的晶圆检测系统，包括读码组件和反射组件，所述读码组件设置在晶圆放置位边缘的上方或下方，所述反射组件位于晶圆放置位边缘的下方或上方，所述反射组件包括反射调整件和反射面，所述反射面正对所述读码组件设置，且读码组件发射的读码光束同时覆盖晶圆放置位的下表面边缘和反射面；所述反射调整件用于调整所述反射面相对于晶圆放置位的位置和角度，使得所述读码组件发射的读码光束同时覆盖晶圆放置位中晶圆上表面或下表面的标识码。本申请确保不管晶圆标识码位于上表面还是下表面均可以通过同一个OCR进行标识码的读取，提高读码效率，提高晶圆传输效率和加工效率。
主权项：1.一种晶圆标识码读取装置，其特征在于，包括读码组件2和反射组件，所述读码组件2设置在晶圆放置位边缘的上方或下方，所述反射组件位于晶圆放置位边缘的下方或上方，所述反射组件包括反射调整件和反射面4，所述反射面4正对所述读码组件2设置，且读码组件2发射的读码光束3同时覆盖晶圆放置位的下表面边缘和反射面4；所述反射调整件用于调整所述反射面4相对于晶圆放置位的位置和角度，使得所述读码组件2发射的读码光束3同时覆盖晶圆放置位中晶圆10上表面或下表面的标识码。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海广川科技有限公司 晶圆标识码读取装置和方法及其形成的晶圆检测系统
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